Kort nieuws
Fraunhofer steekt ASMI handje toe
13 december 2011
Het Fraunhofer CNT-instituut gaat ASMI helpen bij de ontwikkeling van ALD- en CVD-processen in de verticale A412-ovens van de Almeerse machinebouwer. De overeenkomst die daartoe is gesloten voorziet in de installatie van een dergelijk depositieapparaat in de cleanroom van het Fraunhofer. Deze constructie hanteert ASMI ook met Holst Centre om nieuwe ALD-toepassingen te verkennen. In een eerste project beogen ASMI en Fraunhofer, die overigens al langer samenwerken, nieuwe processen en materialen voor CMos-logic-technologie te ontwikkelen en te integreren.