Eerste fotonen door ASML's NXE:3100
7 juli 2010
ASML heeft voor het eerst de lichtknop omgezet in zijn EUV-preproductietool, de NXE:3100. Het peertje van Cymer knipte aan en de eerste fotonen flitsten door de machine. ‘Een grote mijlpaal’, zei Noreen Harned, vicepresident marketing, technologie en nieuwe business bij ASML vorige week op een bijeenkomst in de Verenigde Staten. ‘Voor het einde van het jaar verwerkt ten minste één klant wafers.’ Na een tweetal alfatools bij Imec en Sematech gestationeerd te hebben, sleutelt ASML nu zes machines in elkaar die bedoeld zijn om het ‘EUV-kunstje’ in de vinger te krijgen. Daarna begint constructie van scanners, de NXE:3300, die in staat zijn op commerciële schaal wafers te belichten.